Kwon, Kwang-Ho, Korea University, Корейская Народно-Демократическая Республика
-
ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ» Том 60 № 1 (2017) - ХИМИЯ неорганич., органич., аналитич., физич., коллоидная, высокомол. соединений
ПАРАМЕТРЫ И СОСТАВ ПЛАЗМЫ В СМЕСИ CF4/O2/Ar
Аннотация PDF (English) -
ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ» Том 62 № 7 (2019) - ХИМИЯ неорганич., органич., аналитич., физич., коллоидная, высокомол. соединений
ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ И КИНЕТИКА АКТИВНЫХ ЧАСТИЦ В СМЕСИ HBr + Cl2 + O2
Аннотация pdf (English) -
ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ» Том 62 № 10 (2019) - ХИМИЯ неорганич., органич., аналитич., физич., коллоидная, высокомол. соединений
О МЕХАНИЗМАХ ВЛИЯНИЯ КИСЛОРОДА НА ПАРАМЕТРЫ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ И КИНЕТИКУ РЕАКТИВНО-ИОННОГО ТРАВЛЕНИЯ КРЕМНИЯ В ПЛАЗМЕ HBr + Cl2 + O2
Аннотация pdf (English) -
ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ» Том 62 № 12 (2019) - ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ неорг. и органических веществ, теоретические основы
ПАРАМЕТРЫ И СОСТАВ ПЛАЗМЫ CF4 + O2 + Ar И CHF3 + O2 +Ar В ПРОЦЕССАХ РЕАКТИВНО-ИОННОГО ТРАВЛЕНИЯ
Аннотация pdf -
ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ» Том 64 № 6 (2021) - ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ неорг. и органических веществ, теоретические основы
GAS-PHASE PARAMETERS AND REACTIVE-ION ETCHING REGIMES FOR Si AND SiO2 IN BINARY Ar + CF4/C4F8 MIXTURES
Аннотация pdf (English) -
ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ» Том 64 № 7 (2021) - ХИМИЯ неорганич., органич., аналитич., физич., коллоидная, высокомол. соединений
ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ И КОНЦЕНТРАЦИИ АКТИВНЫХ ЧАСТИЦ В СМЕСЯХ ФТОРУГЛЕРОДНЫХ ГАЗОВ С АРГОНОМ И КИСЛОРОДОМ
Аннотация pdf (English) -
ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ» Том 65 № 4 (2022) - ХИМИЯ неорганич., органич., аналитич., физич., коллоидная, высокомол. соединений
ПАРАМЕТРЫ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ И КИНЕТИКА ТРАВЛЕНИЯ КРЕМНИЯ В ПЛАЗМЕ C6F12O + O2
Аннотация pdf (English) -
ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ» Том 67 № 1 (2024) - ХИМИЯ неорганич., органич., аналитич., физич., коллоидная, высокомол. соединений
О ВЛИЯНИИ КИСЛОРОДА НА КИНЕТИКУ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ В СМЕСЯХ CF4 + O2 И C4F8 + O2
Аннотация -
ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ» Том 66 № 8 (2023) - ХИМИЯ неорганич., органич., аналитич., физич., коллоидная, высокомол. соединений
О СРАВНЕНИИ МЕХАНИЗМОВ РЕАКТИВНО-ИОННОГО ТРАВЛЕНИЯ SiO2 ВО ФТОР- И ХЛОРСОДЕРЖАЩЕЙ ПЛАЗМЕ
Аннотация pdf (English)
