Efremov AM, Kwon KH, Shabadarova DA. СРАВНИТЕЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ПАРАМЕТРОВ И СОСТАВА ПЛАЗМЫ В СМЕСЯХ CF4, Cl2 И HBr + Ar. ХИХТ [Интернет]. 17 июль 2018 г. [цитируется по 26 апрель 2024 г.];59(10):11-8. доступно на: http://ctj-isuct.ru/article/view/597