Efremov AM, Murin DB, Kwon KH. ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ И КИНЕТИКА АКТИВНЫХ ЧАСТИЦ В СМЕСИ CF4+C4F8+Ar. ХИХТ [Интернет]. 17 апрель 2018 г. [цитируется по 27 апрель 2024 г.];61(4-5):31-6. доступно на: http://ctj-isuct.ru/article/view/330