Efremov AM, Sobolev AM. ОСОБЕННОСТИ КИНЕТИКИ РЕАКТИВНО-ИОННОГО ТРАВЛЕНИЯ SiO2 В СМЕСЯХ CF4 + Ar + O2 И C4F8 + Ar + O2. ХИХТ [Интернет]. 3 август 2020 г. [цитируется по 25 апрель 2024 г.];63(9):21-7. доступно на: http://ctj-isuct.ru/article/view/1924