1.
Efremov AM, Sobolev AM. ОСОБЕННОСТИ КИНЕТИКИ РЕАКТИВНО-ИОННОГО ТРАВЛЕНИЯ SiO2 В СМЕСЯХ CF4 + Ar + O2 И C4F8 + Ar + O2. ХИХТ [Интернет]. 3 август 2020 г. [цитируется по 31 октябрь 2020 г.];63(9):21-7. доступно на: http://journals.isuct.ru/ctj/article/view/1924