Efremov AM, Rybkin VV, Betelin VB, Kwon K-H. О МЕХАНИЗМАХ ВЛИЯНИЯ КИСЛОРОДА НА ПАРАМЕТРЫ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ И КИНЕТИКУ РЕАКТИВНО-ИОННОГО ТРАВЛЕНИЯ КРЕМНИЯ В ПЛАЗМЕ HBr + Cl2 + O2. ХИХТ [Интернет]. 29 октябрь 2019 г. [цитируется по 25 апрель 2024 г.];62(10):76-3. доступно на: http://ctj-isuct.ru/article/view/1669