Efremov, Alexander M., Kwang H. Kwon, и Dariya A. Shabadarova. «СРАВНИТЕЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ПАРАМЕТРОВ И СОСТАВА ПЛАЗМЫ В СМЕСЯХ CF4, Cl2 И HBr + Ar». ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ» 59, no. 10 (июль 17, 2018): 11-18. просмотрено апрель 26, 2024. http://ctj-isuct.ru/article/view/597.