Efremov, Alexander M., Dmitriy B. Murin, и Kwang H. Kwon. «ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ И КИНЕТИКА АКТИВНЫХ ЧАСТИЦ В СМЕСИ CF4+C4F8+Ar». ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ» 61, no. 4-5 (апрель 17, 2018): 31-36. просмотрено апрель 26, 2024. http://ctj-isuct.ru/article/view/330.