Efremov, Alexander M., и Alexander M. Sobolev. «ОСОБЕННОСТИ КИНЕТИКИ РЕАКТИВНО-ИОННОГО ТРАВЛЕНИЯ SiO2 В СМЕСЯХ CF4 + Ar + O2 И C4F8 + Ar + O2». ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ» 63, no. 9 (август 3, 2020): 21-27. просмотрено октябрь 31, 2020. http://journals.isuct.ru/ctj/article/view/1924.