Efremov, Alexander M., Vladimir B. Betelin, и Kwang-Ho Kwon. «ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ И КИНЕТИКА ТРАВЛЕНИЯ SiO2 В СМЕСИ C4F8 + Ar + O2». ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ» 63, no. 6 (май 13, 2020): 37-43. просмотрено апрель 18, 2024. http://ctj-isuct.ru/article/view/1743.