Efremov, Aleksandr M., Vladimir V. Rybkin, Vladimir B. Betelin, и Kwang-Ho Kwon. «О МЕХАНИЗМАХ ВЛИЯНИЯ КИСЛОРОДА НА ПАРАМЕТРЫ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ И КИНЕТИКУ РЕАКТИВНО-ИОННОГО ТРАВЛЕНИЯ КРЕМНИЯ В ПЛАЗМЕ HBr + Cl2 + O2». ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ» 62, no. 10 (октябрь 29, 2019): 76-83. просмотрено апрель 26, 2024. http://ctj-isuct.ru/article/view/1669.