Efremov, Alexander M., Dmitry B. Murin, и Kwang H. Kwon. «ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ, КОНЦЕНТРАЦИИ АКТИВНЫХ ЧАСТИЦ И КИНЕТИКА ТРАВЛЕНИЯ В СМЕСИ C4F8+Ar». ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ» 62, no. 2 (февраль 7, 2019): 31-37. просмотрено апрель 18, 2024. http://ctj-isuct.ru/article/view/1025.