Efremov, A. M., K. H. Kwon, и D. A. Shabadarova. «СРАВНИТЕЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ПАРАМЕТРОВ И СОСТАВА ПЛАЗМЫ В СМЕСЯХ CF4, Cl2 И HBr + Ar». ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ», т. 59, вып. 10, июль 2018 г., сс. 11-18, doi:10.6060/tcct.20165910.5431.