Efremov, A. M., D. B. Murin, и K. H. Kwon. «ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ И КИНЕТИКА АКТИВНЫХ ЧАСТИЦ В СМЕСИ CF4+C4F8+Ar». ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ», т. 61, вып. 4-5, апрель 2018 г., сс. 31-36, doi:10.6060/tcct.20186104-05.5695.