Efremov, A. M., и A. M. Sobolev. «ОСОБЕННОСТИ КИНЕТИКИ РЕАКТИВНО-ИОННОГО ТРАВЛЕНИЯ SiO2 В СМЕСЯХ CF4 + Ar + O2 И C4F8 + Ar + O2». ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ», т. 63, вып. 9, август 2020 г., сс. 21-27, doi:10.6060/ivkkt.20206309.6198.