Efremov, A. M., A. M. Sobolev, V. B. Betelin, и K.-H. Kwon. «ПАРАМЕТРЫ И СОСТАВ ПЛАЗМЫ CF4 + O2 + Ar И CHF3 + O2 +Ar В ПРОЦЕССАХ РЕАКТИВНО-ИОННОГО ТРАВЛЕНИЯ». ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ», т. 62, вып. 12, декабрь 2019 г., сс. 108-1, doi:10.6060/ivkkt.20196212.6032.