Efremov, A. M., V. V. Rybkin, V. B. Betelin, и K.-H. Kwon. «О МЕХАНИЗМАХ ВЛИЯНИЯ КИСЛОРОДА НА ПАРАМЕТРЫ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ И КИНЕТИКУ РЕАКТИВНО-ИОННОГО ТРАВЛЕНИЯ КРЕМНИЯ В ПЛАЗМЕ HBr + Cl2 + O2». ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ», т. 62, вып. 10, октябрь 2019 г., сс. 76-83, doi:10.6060/ivkkt.20196210.6046.