[1]
A. M. Efremov, K. H. Kwon, и D. A. Shabadarova, «СРАВНИТЕЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ПАРАМЕТРОВ И СОСТАВА ПЛАЗМЫ В СМЕСЯХ CF4, Cl2 И HBr + Ar», ХИХТ, т. 59, вып. 10, сс. 11-18, июл. 2018.