[1]
A. V. Golovanov, N. V. Luparev, и B. P. Sorokin, «МОДИФИКАЦИЯ АЛМАЗНОЙ ПОВЕРХНОСТИ ПРИ ФОТОЛИТОГРАФИИ, ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЙ ОЧИСТКЕ И МАГНЕТРОННОМ ОСАЖДЕНИИ», ХИХТ, т. 63, вып. 11, сс. 49-56, окт. 2020.