Efremov, A. M., Murin, D. B. и Kwon, K. H. (2018) «ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ И КИНЕТИКА АКТИВНЫХ ЧАСТИЦ В СМЕСИ CF4+C4F8+Ar», ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ», 61(4-5), сс. 31-36. doi: 10.6060/tcct.20186104-05.5695.