Efremov, Alexander M., Kwang H. Kwon, и Dariya A. Shabadarova. 2018. «СРАВНИТЕЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ПАРАМЕТРОВ И СОСТАВА ПЛАЗМЫ В СМЕСЯХ CF4, Cl2 И HBr + Ar». ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ» 59 (10), 11-18. https://doi.org/10.6060/tcct.20165910.5431.