Efremov, Alexander M., Dmitriy B. Murin, и Kwang H. Kwon. 2018. «ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ И КИНЕТИКА АКТИВНЫХ ЧАСТИЦ В СМЕСИ CF4+C4F8+Ar». ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ» 61 (4-5), 31-36. https://doi.org/10.6060/tcct.20186104-05.5695.