Efremov, Alexander M., и Alexander M. Sobolev. 2020. «ОСОБЕННОСТИ КИНЕТИКИ РЕАКТИВНО-ИОННОГО ТРАВЛЕНИЯ SiO2 В СМЕСЯХ CF4 + Ar + O2 И C4F8 + Ar + O2». ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ» 63 (9), 21-27. https://doi.org/10.6060/ivkkt.20206309.6198.