Efremov, Alexander M., Alexander M. Sobolev, Vladimir B. Betelin, и Kwang-Ho Kwon. 2019. «ПАРАМЕТРЫ И СОСТАВ ПЛАЗМЫ CF4 + O2 + Ar И CHF3 + O2 +Ar В ПРОЦЕССАХ РЕАКТИВНО-ИОННОГО ТРАВЛЕНИЯ». ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ» 62 (12), 108-18. https://doi.org/10.6060/ivkkt.20196212.6032.