GOLOVANOV, A. V.; LUPAREV, N. V.; SOROKIN, B. P. МОДИФИКАЦИЯ АЛМАЗНОЙ ПОВЕРХНОСТИ ПРИ ФОТОЛИТОГРАФИИ, ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЙ ОЧИСТКЕ И МАГНЕТРОННОМ ОСАЖДЕНИИ. ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ», v. 63, n. 11, p. 49-56, 27 окт. 2020.