EFREMOV, A. M.; SOBOLEV, A. M.; BETELIN, V. B.; KWON, K.-H. ПАРАМЕТРЫ И СОСТАВ ПЛАЗМЫ CF4 + O2 + Ar И CHF3 + O2 +Ar В ПРОЦЕССАХ РЕАКТИВНО-ИОННОГО ТРАВЛЕНИЯ. ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ», v. 62, n. 12, p. 108-118, 8 дек. 2019.