EFREMOV, A. M.; RYBKIN, V. V.; BETELIN, V. B.; KWON, K.-H. О МЕХАНИЗМАХ ВЛИЯНИЯ КИСЛОРОДА НА ПАРАМЕТРЫ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ И КИНЕТИКУ РЕАКТИВНО-ИОННОГО ТРАВЛЕНИЯ КРЕМНИЯ В ПЛАЗМЕ HBr + Cl2 + O2. ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ», v. 62, n. 10, p. 76-83, 29 окт. 2019.