Efremov, A. M., Kwon, K. H., & Shabadarova, D. A. (2018). СРАВНИТЕЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ПАРАМЕТРОВ И СОСТАВА ПЛАЗМЫ В СМЕСЯХ CF4, Cl2 И HBr + Ar. ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ», 59(10), 11-18. https://doi.org/10.6060/tcct.20165910.5431