Golovanov, A. V., Luparev, N. V., & Sorokin, B. P. (2020). МОДИФИКАЦИЯ АЛМАЗНОЙ ПОВЕРХНОСТИ ПРИ ФОТОЛИТОГРАФИИ, ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЙ ОЧИСТКЕ И МАГНЕТРОННОМ ОСАЖДЕНИИ. ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ», 63(11), 49-56. https://doi.org/10.6060/ivkkt.20206311.6232