Efremov, A. M., & Sobolev, A. M. (2020). ОСОБЕННОСТИ КИНЕТИКИ РЕАКТИВНО-ИОННОГО ТРАВЛЕНИЯ SiO2 В СМЕСЯХ CF4 + Ar + O2 И C4F8 + Ar + O2. ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ», 63(9), 21-27. https://doi.org/10.6060/ivkkt.20206309.6198