TY - JOUR AU - Aleksandr M. Efremov AU - Vladimir B. Betelin AU - Kwang-Ho Kwon AU - Dmitriy G. Snegirev PY - 2019/07/21 Y2 - 2024/03/29 TI - ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ И КИНЕТИКА АКТИВНЫХ ЧАСТИЦ В СМЕСИ HBr + Cl2 + O2 JF - ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ» JA - ХИХТ VL - 62 IS - 7 SE - ХИМИЯ неорганич., органич., аналитич., физич., коллоидная, высокомол. соединений DO - 10.6060/ivkkt.20196207.5947 UR - http://ctj-isuct.ru/article/view/1483 AB - В данной работе проведено комбинированное (экспериментальное и теоретическое) исследование характеристик газовой фазы индукционного 13,56 МГц ВЧ-разряда низкого давления в трехкомпонентной смеси HBr + Cl2 + O2. Данные по внутренним параметрам плазмы, кинетике плазмохимических процессов и стационарному составу газовой фазы были получены при совместном использовании диагностики плазмы зондами Лангмюра и 0-мерной (глобальной) модели плазмы. Условия эксперимента и моделирования соответствовали постоянным значениям общего давления плазмообразующего газа (p = 10 мтор), вкладываемой мощности (W = 500 Вт), мощности смещения (Wdc = 200 Вт) и содержания кислорода в смеси (y(O2) = 11 %). В качестве варьируемого параметра выступало соотношение начальных концентраций компонентов в паре HBr + Cl2, которое изменялось в диапазоне 0 – 89 % Cl2. Было найдено, что замещение HBr на Cl2 в исследуемом диапазоне условий: 1) приводит к увеличению средней энергии и концентрации электронов; 2) вызывает немонотонное (с максимумом при ~ 45 % Cl2) изменение концентрации атомов Br; и 3) обеспечивает рост концентрации атомов О в условиях y(O2) = const. На основе расчетных данных по плотностям потоков активных частиц (атомов Br, Cl и O, положительных ионов) проведен анализ возможных механизмов влияния соотношения начальных концентраций в паре HBr + Cl2 на кинетику травления Si и SiO2.<span style="opacity: 0;"> . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . </span> ER -