@article{Efremov_Betelin_Kwon_2020, title={ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ И КИНЕТИКА ТРАВЛЕНИЯ SiO2 В СМЕСИ C4F8 + Ar + O2}, volume={63}, url={http://ctj-isuct.ru/article/view/1743}, DOI={10.6060/ivkkt.20206306.6163}, number={6}, journal={ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ»}, author={Efremov, Alexander M. and Betelin, Vladimir B. and Kwon, Kwang-Ho}, year={2020}, month={май}, pages={37-43} }