СВОЙСТВА ЛЕГИРОВАННЫХ АЗОТОМ АМОРФНЫХ УГЛЕРОДНЫХ ПОКРЫТИЙ, ПОЛУЧАЕМЫХ ИМПУЛЬСНЫМ ВАКУУМНО-ДУГОВЫМ МЕТОДОМ
Аннотация
В работе представлены результаты исследования структуры и свойств легированных азотом аморфных углеродных покрытий, полученных в вакууме из потока импульсной углеродной плазмы. Установлено, что легирование азотом углеродного покрытия приводит к увеличению электропроводности, снижению внутренних напряжений, уменьшению плотности, твердости и модуля упругости, к изменению структуры, морфологии поверхности и трибологических характеристик.
Литература
Robertson J. Materials Science and Engineering. 2002. V. 37. P. 129-281. DOI: 10.1016/S0927-796X(02)00005-0.
Chean L.K., Shi X., Shi J.R., Liu E.J., Silva S.R.P. J. Non-Cryst. Solids. 1998. V. 242. P. 40-48. DOI: 10.1016/S0022-3093(98)00787-X.
Kolpakov A.Y., Sudzhanskaya I.V., Galkina M.E., Goncharov I.Y., Poplavskii A.I., Manokhin S.S. Nanotechnologies in Russia. 2011. V. 6. N 3-4. P. 185-188. DOI: 10.1134/S199507801102011X.
Wang Q., Jiang J. J. Nanomaterials. 2014. V. 2014. Article ID 203837. 8 p. DOI: 10.1155/2014/203837.
Maslov A.I., Dmitriev G.K., Chistyakov Yu.D. Pribory i tekhnika experimenta. 1985. N 3. P. 146-149 (in Russia).
Galkina M.E., Kolpakov A.Ya., Safronova O.V., Sudzhanskaya I.V. RF Patent №2342468. 2008 (in Russia).
Gogolinsky K.V., Lvova N.A., Useinov A.S. Zavodskaya laboratoriya. 2007. V. 73. N 6. P. 28-36 (in Russia).
Ferrari A.C., Libassi A., Tanner B.K., Stolojan V., Yuan J., Brown L.M., Rodil S.E., Kleinsorge B., Robertson J. Phys. Rev. B. 2000. V. 62. N 15. P. 11089-11103. DOI: 10.1103/PhysRevB.62.11089.
Kolpakov A.Ya., Poplavskiy A.I., Galkina M.E., Sudzhanskaya I.V. Merchanskiy O.Yu. Uprochnyayushie tekhnologii i pokrytiya. 2012. N 4. P. 40-45 (in Russia).
Ferrari A.C., Rodil S.E., Robertson J. Phys. Rev. B. 2003. V. 67. P.155306-1-20. DOI: 10.1103/PhysRevB.67.155306.
Donnet C., Erdemir A. Tribology of Diamond-Like Carbon Films: Fundamentals and Applications. New York: Springer. 2008. 664 p.
Kolpakov A.Ya., Poplavsky A.I., Safronova O.V. RF Patent N136563. 2014 (in Russia).
